Grafiittielektrodit integroitujen piirien valmistukseen
Jincheng Graphite, ammattimainen grafiittituotteiden valmistaja, tarjoaa grafiittielektrodeja, joilla on korkea johtavuus ja korkea lämpöstabiilisuus integroitujen piirien valmistukseen. Nämä elektrodit on suunniteltu erityisesti avainprosesseihin, kuten litografiaan, etsaukseen ja pinnoitukseen, ja niissä on erittäin tarkka käsittelykyky, pitkä käyttöikä ja alhainen lämpöjännitys. Niitä käytetään laajalti huippuluokan-puolijohteiden valmistusteollisuudessa.
Ydin etu
Korkea johtavuus ja lämmönkestävyys
Käytettäessä erittäin{0}}puhtaita grafiittisubstraatteja ja yhdistämällä nanomittakaavan pintakäsittelyteknologian johtavuus saavuttaa suurempi tai yhtä suuri kuin 10^5 S/m ja lämpölaajenemiskerroin on pienempi tai yhtä suuri kuin 3,5 × 10⁻⁶/aste. Tämä varmistaa rakenteellisen vakauden korkean lämpötilan prosessien aikana ja estää kiekkojen lämpömuodonmuutoksia.
Tarkka käsittely yhteensopivuus
Laserleikkauksen, plasmaetsauksen jne. avulla se tukee elektrodien paksuutta 0,05–3 mm ja mukautettuja monimutkaisia geometrioita, jotka sopivat kiekkojen käsittelylaitteisiin edistyneille prosesseille 5 nm ja alle ja jotka täyttävät korkean-tarkkuuden vaatimukset.
Korroosionkestävyys ja kulutuskestävyys
Pinnalle tehdään kemiallinen passivointikäsittely. Se läpäisee voimakkaat happokorroosiotestit HF:llä, HNO₃:lla jne. ja kestää jopa 1500 asteen lämpötiloja, mikä pidentää merkittävästi elektrodien käyttöikää ja vähentää prosessin keskeytysten riskiä.
Sovellusskenaario
Integroitujen piirien valmistuksessa käytettäviä grafiittielektrodeja käytetään laajalti avainprosesseissa, kuten plasmaetsaus (syvän sub{0}}mikronin kaivannon käsittelyyn), kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) ja fyysinen höyrypinnoitus (PVD). Niiden alhainen lämpöjännitysominaisuus voi tehokkaasti estää kiekkojen epätasaisen lämpölaajenemisen aiheuttamia vikoja, nostaen huippuluokan sirujen tuoton yli 99,8 prosenttiin ja auttaa saavuttamaan sirujen valmistusprosessien miniatyrisoinnin ja suuren-tiheyden integroinnin.
Tekniset tiedot
| Sähkönjohtavuus | Suurempi tai yhtä suuri kuin 10^5 S/m (huoneenlämpötilassa) |
| Lämpölaajenemiskerroin | Pienempi tai yhtä suuri kuin 3,5 × 10⁻⁶ / aste |
| Pinnan karheus | Ra Pienempi tai yhtä suuri kuin 0,2 μm |
| Korroosionkestävyys | Läpäissyt testit vahvoissa hapoissa, vahvoissa emäksissä ja plasmaympäristöissä |
| Mekaaninen lujuus | Puristuslujuus Suurempi tai yhtä suuri kuin 120 MPa |
Jincheng-grafiitin laadunvarmistus
Jincheng Graphite on ollut syvästi mukana grafiittituotteiden alalla 18 vuoden ajan. Sillä on omat itsenäiset immateriaalioikeudet matalan lämpötilan sintrausteknologiaan ja ISO9001-laatujärjestelmän sertifiointiin. Se ohjaa tiukasti koko prosessia raaka-aineen puhdistuksesta (puhtaus suurempi tai yhtä suuri kuin 99,99 %), puristamisesta ja puristamisesta korkean lämpötilan sintraamiseen varmistaakseen, että tuotteet täyttävät puolijohdeteollisuuden tiukat puhtausvaatimukset (ISO 4 -luokka), lämpöstabiilisuus (±0,5 astetta) ja pinnan tasaisuus (Les.0).
Yhteistyösitoumus
Jincheng Graphite tarjoaa ilmaisen näytetestauksen, 72-tunnin teknisen vastauksen ja tuen pienimuotoiseen-koetuotantoon. Se voi mukauttaa elektrodien mittoja, johtavia suorituskykyparametreja ja pintakäsittelysuunnitelmia asiakkaan prosessivaatimusten mukaan. Se on sitoutunut tarjoamaan tehokkaita ja luotettavia grafiittielektrodiratkaisuja maailmanlaajuisille puolijohdeyrityksille. Ammattimaisen teknologian, nopean toimituksen ja jatkuvan innovaation ansiosta siitä on tullut keskeinen kumppani integroitujen piirien valmistuksen lämmönhallinnan ja tarkkuuskäsittelyn alalla.
Suositut Tagit: grafiittielektrodit ic-valmistukseen, Kiina grafiittielektrodit jäänvalmistukseen valmistajille, toimittajille, tehtaalle
