Puolijohdeteollisuus on grafiittimateriaalien korkein-sovellusala, ja puolijohde--laatuluokan ultra-korkean-puhtausgrafiitti tunnetaan "sirunvalmistuksen puhtaana kantajana". Toisin kuin aurinkosähkö-, metallurgiset ja ilmailugrafiittituotteet, puolijohdegrafiittikomponentit tavoittelevat äärimmäistä puhtautta, ultra-puhtautta ja erittäin-korkeaa mittastabiilisuutta, ja kaikki epäpuhtaudet, pienet hiukkaspäästöt tai mittapoikkeamat johtavat kiekkojen romutukseen ja sirun suorituskyvyn epäonnistumiseen. Maailmanlaajuisten 300 mm:n ja 450 mm:n kiekkojen nopean laajentumisen ja SiC- ja GaN-kaistanleveän{10}}puolijohdeteknologian toistuvan päivittämisen myötä korkeatasoisten puolijohdegrafiittituotteiden kysyntä kasvaa jatkuvasti, ja myös alan tekninen kynnys paranee jatkuvasti.
Puolijohteiden valmistuslinkkien mukaan puolijohdegrafiittituotteet jaetaan kolmeen ydinkategoriaan: kiekkojen kasvun lämpökenttägrafiittikomponentit, puolijohteiden lämpökäsittelyn hehkutusuunin grafiittiosat sekä sirupakkaukset ja grafiittikiinnikkeiden testaus. Jokaisella luokalla on itsenäiset tekniset standardit ja käsittelyvaikeudet, mikä muodostaa erillisen korkealaatuisen-tuotejärjestelmän.
Kiekkojen kasvun lämpökenttägrafiittikomponentteja käytetään yksikiteisissä piikiekkojen ja leveiden{0}}välisten puolijohdekiekkojen kasvatusuuneissa, mukaan lukien grafiittilämmittimet, lämmöneristysjärjestelmät, upokkaan tukiosat ja johtavat komponentit. Tämäntyyppiset tuotteet vaativat erittäin-korkean puhtauden, kokonaisepäpuhtauksien pitoisuus alle 5 ppm, ja metallien haihtuvia epäpuhtauksia on lähes nolla. Yli 1500 asteen korkean lämpötilan -kiekkojen kasvuympäristössä ei voi muodostua haitallista kaasu- tai hiukkassaastetta, mikä varmistaa kiekkojen kasvuympäristön atomitason puhtauden. Samaan aikaan lämpökentän komponenteilla on oltava ultra-tasainen lämmönjohtavuus ja lämmönkestävyys, jotta varmistetaan tasainen kiekkojen kasvulaatu ja vältetään lämpötilan vaihteluiden aiheuttamat kiekkojen vääntymät ja hilavirheet.
Puolijohdehehkutusuunin grafiittikomponentteja käytetään pääasiassa kiekkojen ioni-istutushehkutukseen, pinnan modifiointiin ja jännityksenpoistokäsittelyyn. Tällaisten grafiittiosien on toimittava vakaasti korkea-tyhjiössä ja erittäin{2}}puhtaassa inertissä kaasussa pitkän aikaa, mikä edellyttää erittäin-alhaista kaasunpoistonopeutta. Grafiitin sisällä oleva kaasun saostuminen saastuttaa tyhjiöympäristöä ja vaikuttaa kiekkojen hehkutustarkkuuteen. Siksi hehkutusuunin grafiittikomponenteille on suoritettava erityinen korkean -lämpötilan tyhjiökaasunpoistokäsittely sisäisen adsorboituneen kaasun ja haihtuvien epäpuhtauksien eliminoimiseksi ja varmistaa, että kaasun poistumistilavuus on puolijohdeteollisuuden standardien mukainen.
Sirupakkaus- ja testausgrafiittikiinnikkeet ovat tarkkuustoiminnallisia komponentteja, joita käytetään kiekkojen leikkaamiseen, pakkauslaakerointiin ja sähköisen suorituskyvyn testaamiseen. Tämäntyyppisillä tuotteilla on erittäin korkeat vaatimukset mittojen tarkkuudelle, tasaisuudesta ja pinnan viimeistelystä. Kiinnikkeen tulee sopia täydellisesti sirukiekon pieneen kokoon, prosessointitoleranssin on oltava ±0,003 mm, ja pinta on erittäin-tasainen ilman purseita ja mikro-ulokkeita, mikä estää kiekon pinnan naarmuuntumisen. Samalla valaisimella on oltava vakaa antistaattinen suorituskyky, jotta staattinen sähkö ei hajottaisi sirupiirejä.
Puolijohdegrafiittituotteiden ydinprosessointiteknologia perustuu erittäin-korkeaan puhdistukseen ja erittäin-puhtaan tarkkuuteen. Tavallisesta grafiitin käsittelystä poiketen puolijohdegrafiitin tuotanto on suoritettava pölyttömässä-puhdistuspajassa, jonka luokka on 1000 tai sitä korkeampi. Kaikki käsittelylaitteet on räätälöity erityisesti laitteiden kitkan aiheuttaman metallihiukkassaasteen välttämiseksi. Raaka-aineille on suoritettava monivaiheinen-korkean lämpötilan-halogeenipuhdistus ja tyhjiökaasunpoistokäsittely epäpuhtauksien ja adsorboituneiden kaasujen poistamiseksi, jotta saavutetaan puolijohdeluokan-ultrapuhtaita{10}}standardeja.
Huixian Jinchengin hioma- ja grafiittimuottien tehdason pitkään harjoittanut puolijohde--luokan ultra-korkean-puhtausgrafiittituotteiden räätälöityä valmistusta ja rakentanut täydellisen sarjan puolijohdegrafiitin ammattikäyttöön tarkoitettuja tuotanto- ja testausjärjestelmiä kansainvälisten sirujen valmistusstandardien mukaisesti. Yritys valitsee yksinomaan maahantuotuja puolijohteiden erityisiä ultra-hienrakeisia isostaattisia grafiittiaihioita ja käyttää nelivaiheista korkean lämpötilan-syväpuhdistus- ja monijaksoista tyhjiökaasunpoistoprosessia valvoakseen vakaasti valmiiden tuotteiden epäpuhtauksien kokonaispitoisuutta, joka on alle {{9 ppm}. Puolijohdekiekkojen erittäin puhtaat valmistusvaatimukset.
Tarkkuuskäsittelyssä Jincheng Graphite suorittaa kaikki prosessointitoimenpiteet ammattimaisessa pölyttömässä-puhdistuspajassa ja käyttää erityisiä ei--metallisia työstötyökaluja metallin saastumisen välttämiseksi. Ultra-tarkkaalla CNC-käsittelyllä ja nano-tason kiillotuslaitteilla varustettu yritys voi toteuttaa puolijohdelämpökenttäkomponenttien ja kiinnitysosien mikroni-tason ultra-tarkkuusvalmistuksen valmiiden tuotteiden tasaisuuden ja mittatoleranssin kanssa täysin kansainvälisten puolijohdelaitteiden standardien mukaisina. Yrityksen itse-kehittämä anti-staattinen pintakäsittelytekniikka voi tehokkaasti parantaa grafiittikiinnikkeiden staattista kestävyyttä ja suojata lastulevyjä staattisilta vaurioilta.
Tällä hetkellä Jincheng Graphiten puolijohde-laatuiset grafiittituotteet kattavat täyden -sarjan kiekkojen lämpökenttäkomponentit, hehkutusuunin grafiittiosat ja pakkaustestauslaitteet, jotka sopivat laajasti maailmanlaajuisiin puolijohdekiekkojen valmistuslaitteisiin. Tuotteita viedään moniin puolijohdevalmistuslaitoksiin Aasiassa, Euroopassa ja Pohjois-Amerikassa, ja ne tarjoavat erittäin-korkean-puhtausasteen ja erittäin tarkan ydinmateriaalituen maailmanlaajuista siruvalmistusta ja laajakaistaista -kaistan puolijohteiden teollista päivitystä varten.
Kehittyneen puolijohdevalmistusteknologian jatkuvan kehityksen myötä puolijohdegrafiittituotteiden puhtaus- ja tarkkuusstandardit paranevat entisestään. Jincheng Graphite jatkaa puhdistusteknologian ja erittäin{1}}puhtaan prosessointijärjestelmän päivittämistä, puolijohdegrafiittituotteen suorituskyvyn jatkuvaa optimointia ja auttaa maailmanlaajuista puolijohdeteollisuutta saavuttamaan korkean-laatuisen iteratiivisen kehityksen.
